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发明名称
Verfahren zum Abscheiden von kristallinem Halbleitermaterial an Substraten
摘要
申请公布号
DE2819113(B1)
申请公布日期
1979.09.06
申请号
DE19782819113
申请日期
1978.04.29
申请人
MESSERSCHMITT-BOELKOW-BLOHM GMBH, 8000 MUENCHEN
发明人
HUBER, HEINZ, 8013 OTTENDICHL
分类号
C30B25/10;(IPC1-7):B01J17/28
主分类号
C30B25/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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