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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS54113280(A)
申请公布日期
1979.09.04
申请号
JP19780019823
申请日期
1978.02.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
MURAMATSU AKIRA
分类号
H01L27/06;H01L21/8249
主分类号
H01L27/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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