发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS54113280(A) 申请公布日期 1979.09.04
申请号 JP19780019823 申请日期 1978.02.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAMATSU AKIRA
分类号 H01L27/06;H01L21/8249 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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