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发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS54111796(A) 申请公布日期 1979.09.01
申请号 JP19780018480 申请日期 1978.02.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUDA YASUMASA;YAMADA KAZUJI;SHIMADA SATOSHI;TANABE MASANORI;NISHIHARA MOTOHISA;SHIMAZOE MICHITAKA;KURIHARA YASUTOSHI;MATSUOKA YOSHITAKA
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
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