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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS54111275(A) 申请公布日期 1979.08.31
申请号 JP19780018307 申请日期 1978.02.20
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 HIRATA YOSHIHIRO
分类号 H01J37/153;H01J37/244;H01J37/26 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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