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发明名称
INSPECTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS54111286(A)
申请公布日期
1979.08.31
申请号
JP19780018886
申请日期
1978.02.20
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
HONMA MICHIO
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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