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发明名称
摘要
申请公布号 DE2046332(C3) 申请公布日期 1979.08.30
申请号 DE19702046332 申请日期 1970.09.19
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN (NIEDERLANDE) 发明人 HOVIUS, EERENST FRANS, EINDHOVEN (NIEDERLANDE)
分类号 G01D5/36;G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):G01D5/36 主分类号 G01D5/36
代理机构 代理人
主权项
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