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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN MIT HOHER SPANNUNGSFESTIGKEIT
摘要
申请公布号
DD137314(A3)
申请公布日期
1979.08.29
申请号
DD19770199252
申请日期
1977.06.02
申请人
HERTZER,RENATE,DD;LINDEMANN,VOLKER,DD;DAHL,HANS,DD
发明人
HERTZER,RENATE,DD;LINDEMANN,VOLKER,DD;DAHL,HANS,DD
分类号
H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/74
主分类号
H01L21/74
代理机构
代理人
主权项
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