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发明名称 CARRIER FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS54109760(A) 申请公布日期 1979.08.28
申请号 JP19780015954 申请日期 1978.02.16
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 ISHIDA MASAHIRO
分类号 H01L21/677;H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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