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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54108589(A) 申请公布日期 1979.08.25
申请号 JP19780015607 申请日期 1978.02.14
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO;HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI 发明人 IWASAKI HIROSHI;OZAWA OSAMU
分类号 H01L21/8222;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/10;H01L29/68;H01L29/73 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
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