发明名称
摘要
申请公布号 JPS5424897(B2) 申请公布日期 1979.08.24
申请号 JP19750084271 申请日期 1975.07.08
申请人 发明人
分类号 H05B7/16;C23C8/36;H01L21/265 主分类号 H05B7/16
代理机构 代理人
主权项
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