发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54107686(A) 申请公布日期 1979.08.23
申请号 JP19780014079 申请日期 1978.02.13
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OOTA MASAE
分类号 H01L21/3213;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/308;H01L29/40;H01L29/43 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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