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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54107258(A) 申请公布日期 1979.08.22
申请号 JP19780013424 申请日期 1978.02.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITOU TATSU;SUGAWARA KATSUO;KAWANOBE TOORU;HARADA YUKIYOSHI;HIRANO MIKIO;MIYAMOTO KEIJI
分类号 H01L21/60;H01L21/283;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/58;H01L23/12 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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