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发明名称
SCANNINGGTYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPS54107254(A)
申请公布日期
1979.08.22
申请号
JP19780013519
申请日期
1978.02.10
申请人
HITACHI LTD
发明人
OOTAKA TADASHI
分类号
H01J37/28
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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