发明名称 TEST METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54105976(A) 申请公布日期 1979.08.20
申请号 JP19780012413 申请日期 1978.02.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAMURA SHINAYA;HAYASHI SHIYOUJI;ANDOU AKIO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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