发明名称 PROJECTION ELECTRODE FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54105962(A) 申请公布日期 1979.08.20
申请号 JP19780013085 申请日期 1978.02.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OBARA MASANOBU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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