| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR GROWING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54104489(A) |
申请公布日期 |
1979.08.16 |
| 申请号 |
JP19780011682 |
申请日期 |
1978.02.03 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TANAKA TSUNEO;NAGATA SEIICHI |
| 分类号 |
C30B23/02;C30B23/08;H01L21/20;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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