| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING DEVICE BY PROTON IMPACT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54103686(A) |
申请公布日期 |
1979.08.15 |
| 申请号 |
JP19790002328 |
申请日期 |
1979.01.16 |
| 申请人 |
PHILIPS NV |
发明人 |
RUDORUFU PAURUSU TEIYOBURUKU;TEUNISU FUAN DONGEN |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/3065;H01S5/00;H01S5/20 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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