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发明名称 CHEMICALLY POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54102863(A) 申请公布日期 1979.08.13
申请号 JP19780009423 申请日期 1978.01.30
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 SHIMURA FUMIO;KAWAMURA TSUTOMU
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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