发明名称 DAM BREAKING UNIT IN PRODUCTION OF RESIN SEALLTYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54101670(A) 申请公布日期 1979.08.10
申请号 JP19780007308 申请日期 1978.01.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOIZUMI KOUJI
分类号 H01L23/50;H01L23/48 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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