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发明名称 ELECTRON BEAM OPTICAL LENS BARREL
摘要
申请公布号 JPS54101675(A) 申请公布日期 1979.08.10
申请号 JP19780008085 申请日期 1978.01.27
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 NAKASUJI MAMORU;WADA KANJI
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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