首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 METHOD FOR OVERLAY MEASUREMENT USING AN ELECTRONIC BEAM SYSTEM AS A MEASURING TOOL
摘要
申请公布号 EP0003038(A3) 申请公布日期 1979.08.08
申请号 EP19780101821 申请日期 1978.12.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DAVIS, DONALD EUGENE;WEBER, EDWARD VICTOR;WILLIAMS, MAURICE CARMEN;WOODARD, OLLIE CLIFTON
分类号 G01B15/00;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com