发明名称 FOCUSING UNIT OF ELECTRONNBEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54100661(A) 申请公布日期 1979.08.08
申请号 JP19780006911 申请日期 1978.01.25
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 NAMAE TAKAO
分类号 H01J37/153;H01J3/12;H01J37/21 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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