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发明名称 COMPOSITIONS FOR POLISHING SILICON AND GERMANIUM
摘要
申请公布号 GB2013234(A) 申请公布日期 1979.08.08
申请号 GB19790001473 申请日期 1979.01.15
申请人 GRACE & CO W R 发明人
分类号 C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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