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发明名称 DRY FILM PHOTOSENSITIVE RESIST
摘要
申请公布号 GB1549952(A) 申请公布日期 1979.08.08
申请号 GB19770033624 申请日期 1977.08.10
申请人 KUZNETSOV V 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/028;G03F7/033;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68;G03C1/71;C08F2/50 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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