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发明名称 ETCHING METHOD ON THIN PLATE
摘要
申请公布号 JPS5498181(A) 申请公布日期 1979.08.02
申请号 JP19780004925 申请日期 1978.01.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TAKATSUKI KUNIO;MIZUNO HIROBUMI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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