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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ETCHING
摘要
申请公布号 JPS5497371(A) 申请公布日期 1979.08.01
申请号 JP19780004631 申请日期 1978.01.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ISHIKAWA OONORI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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