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发明名称
INSPECTION METHOD SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5497376(A)
申请公布日期
1979.08.01
申请号
JP19780004623
申请日期
1978.01.18
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SHIRAGASAWA TSUYOSHI
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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