发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5497358(A) 申请公布日期 1979.08.01
申请号 JP19780004039 申请日期 1978.01.18
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 HIRATA YOSHIHIRO
分类号 H01J37/141;H01J37/10;H01J37/21;H01J37/28 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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