IMPURITY DIFFUSING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR,申请号JP19780002715-传众专利搜索

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发明名称	IMPURITY DIFFUSING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	JPS5496360(A)	申请公布日期	1979.07.30
申请号	JP19780002715	申请日期	1978.01.17
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO	发明人	KIKUCHI KIYOSHI;KOBAYASHI MASAAKI;MIYAGAWA MASAFUMI
分类号	H01L21/223	主分类号	H01L21/223
代理机构		代理人
主权项
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