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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5421075(B2)	申请公布日期	1979.07.27
申请号	JP19730008053	申请日期	1973.01.17
申请人		发明人
分类号	H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
主权项
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