发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5493983(A) 申请公布日期 1979.07.25
申请号 JP19780000765 申请日期 1978.01.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YUKIMOTO YOSHINORI
分类号 H01L29/80;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/73;H01L29/74 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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