发明名称 MANUFACTURE ON N-DOPED SILICON BY NEUTRON BOMBARDEMENT
摘要
申请公布号 GB2012482(A) 申请公布日期 1979.07.25
申请号 GB19780046933 申请日期 1978.12.01
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GES F.ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人
分类号 G21G1/06;H01L21/261;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 G21G1/06
代理机构 代理人
主权项
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