| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET POSITIONEREN VAN EEN SUBSTRAAT. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7900497(A) |
申请公布日期 |
1979.07.25 |
| 申请号 |
NL19790000497 |
申请日期 |
1979.01.22 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/30;B25B11/00;B28D5/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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