PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19780000887-传众专利搜索

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发明名称	PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS5494281(A)	申请公布日期	1979.07.25
申请号	JP19780000887	申请日期	1978.01.10
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO	发明人	OGURA MASAHARU
分类号	H01L21/3205;H01L21/302	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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