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发明名称 IMPURITY DIFFUSING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5494276(A) 申请公布日期 1979.07.25
申请号 JP19780000886 申请日期 1978.01.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KOBAYASHI YOSHIMASA;KOBAYASHI MASAAKI
分类号 H01L21/223 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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