SILICON MONOCRYSTAL WAFER,申请号JP19780000554-传众专利搜索

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发明名称	SILICON MONOCRYSTAL WAFER
摘要
申请公布号	JPS5494273(A)	申请公布日期	1979.07.25
申请号	JP19780000554	申请日期	1978.01.09
申请人	CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI	发明人	KISHINO SEIGOU;KANAMORI TSUYOSHI;SUEHIRO NAOJI;MATSUSHITA YOSHIAKI;TANITSU KAZUNORI
分类号	C30B13/00;C30B29/06;H01L21/02;H01L21/322	主分类号	C30B13/00
代理机构		代理人
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