| 发明名称 |
METALLIC LAYER REMOVING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5494196(A) |
申请公布日期 |
1979.07.25 |
| 申请号 |
JP19780142425 |
申请日期 |
1978.11.20 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
JIEEMUZU ROBAATO KITSUCHIYAA;GIYUNAASU MIABARUDESU OZORUSU;BURAIANTO ENU JINGAAMAN |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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