| 发明名称 |
MOVABLE SUPPORTER FOR SUPPORTING WORKPIECE IN VACUUM EVAPORATION CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5493680(A) |
申请公布日期 |
1979.07.24 |
| 申请号 |
JP19780147702 |
申请日期 |
1978.11.29 |
| 申请人 |
DOBSON CHRISTOPHER DAVID |
发明人 |
KURISUTOFUAA DEIBUITSUDO DOBUS |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/56;C30B23/04;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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