发明名称 PROCEDE DE DEPOT DE REVETEMENTS COULEUR OR
摘要 <P>PROCEDE DE DEPOT DE REVETEMENTS COULEUR OR SUR DES SUBSTRATS.</P><P>LE PROCEDE CONSISTE A EVAPORER DU TITANE ETOU DU ZIRCONIUM METALLIQUE DANS UNE ATMOSPHERE DE VIDE PARTIEL CONTENANT DE L'AZOTE ET DE L'ARGON, EN PRESENCE D'UNE DECHARGE D'ARC A BASSE TENSION. IL SE CARACTERISE EN CE QUE LES CONDITIONS OPERATOIRES SUIVANTES SONT REUNIES:</P><P>A.LA DIFFERENCE DE POTENTIEL DE L'ANODE DE LA DECHARGE D'ARC A BASSE TENSION PAR RAPPORT AUX SUBSTRATS EST COMPRISE ENTRE 5V ET 100V;</P><P>B.LE POTENTIEL ELECTRIQUE DES SUBSTRATS EST DE 0V A 150V PLUS FAIBLE QUE LE POTENTIEL DES PAROIS QUI DELIMITENT L'ESPACE D'EVAPORATION;</P><P>C.LA VITESSE DE DEPOT SUR LES SUBSTRATS EST COMPRISE ENTRE 1 ET 15NMS; ET</P><P>D.LA PRESSION PARTIELLE DES COMPOSANTS CONTENANT DE L'AZOTE EST COMPRISE ENTRE 2.10 ET 10MBAR.</P><P>UTILISATION DANS L'INDUSTRIE HORLOGERE.</P>
申请公布号 FR2412619(A1) 申请公布日期 1979.07.20
申请号 FR19780036126 申请日期 1978.12.22
申请人 BALZERS AG HOCHVAKUUMTECHNIK 发明人 H. K. PULKER ET HELMUT DAXINGER;DAXINGER HELMUT
分类号 C23C14/14;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/32;G04B37/22;(IPC1-7):C23C13/00;G04B37/00 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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