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发明名称
FOCUSING METHOD AND ITS APPARATUS FOR ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5492051(A)
申请公布日期
1979.07.20
申请号
JP19770157792
申请日期
1977.12.29
申请人
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB
发明人
NAMAE TAKAO
分类号
H01J37/21
主分类号
H01J37/21
代理机构
代理人
主权项
地址
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