| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR APPARATUS AND METHOD OF PRODUCING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5491740(A) |
申请公布日期 |
1979.07.20 |
| 申请号 |
JP19780000064 |
申请日期 |
1977.12.28 |
| 申请人 |
NIPPON PRECISION CIRCUITS |
发明人 |
MATSUURA YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L27/04;G05F1/56;G05F3/24;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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