| 发明名称 |
METHOD OF GROWING VAPOR OF COMPOUND SEMICONDUCTOR EPITAXIAL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5491050(A) |
申请公布日期 |
1979.07.19 |
| 申请号 |
JP19770158331 |
申请日期 |
1977.12.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MONSANTO CHEM |
发明人 |
HASEGAWA SHINICHI;FUJITA HISANORI |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;H01L33/30 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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