发明名称 VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG VON VERBINDUNGSLEITUNGEN
摘要
申请公布号 DE2901697(A1) 申请公布日期 1979.07.19
申请号 DE19792901697 申请日期 1979.01.17
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 HOMMA,YOSHIO;NOZAWA,HISAO;SATO,AKIRA;HARADA,SEIKI;HACHIOJI TOKIO
分类号 H05K3/02;H01L21/3063;H01L21/768;H05K3/07;H05K3/14;(IPC1-7):H05K3/06 主分类号 H05K3/02
代理机构 代理人
主权项
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