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发明名称 FILM THICKNESS DETECTOR
摘要
申请公布号 JPS5491263(A) 申请公布日期 1979.07.19
申请号 JP19770157340 申请日期 1977.12.28
申请人 ULVAC CORP 发明人 YOSHIKAWA HIDEJI;KIRITANI HITOSHI
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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