| 发明名称 |
SILICONNCONTAINED SILICON CARBIDE REACTIVE TUBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5490966(A) |
申请公布日期 |
1979.07.19 |
| 申请号 |
JP19770143546 |
申请日期 |
1977.11.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO |
发明人 |
MATSUO HIDEYASU;SHIBUYA TAKAYUKI;TANAKA TAKASHI;SUZUKI TOSHIAKI |
| 分类号 |
C23C16/32;F27D11/02;H01L21/22 |
主分类号 |
C23C16/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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