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发明名称 STEUERMECHANISMUS FUER DIE POSITIONIERUNG EINES OBJEKTES,INSBESONDERE ZUR FEINPOSITIONIERUNG VON SUBSTRATSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD136671(A1) 申请公布日期 1979.07.18
申请号 DD19760192583 申请日期 1976.04.29
申请人 HARTUNG,STEPHAN,DD;JACKSCH,ERHARD,DD 发明人 HARTUNG,STEPHAN,DD;JACKSCH,ERHARD,DD
分类号 H01L21/30;B23Q1/36;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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