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发明名称
摘要
申请公布号 JPS54101977(U) 申请公布日期 1979.07.18
申请号 JP19770178588U 申请日期 1977.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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