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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5419774(B1)
申请公布日期
1979.07.18
申请号
JP19710099822
申请日期
1971.12.09
申请人
发明人
分类号
G03C1/053;G03F7/031;(IPC1-7):G03C1/68;G03F7/10;G03F7/12;H01L21/30;H05K3/06
主分类号
G03C1/053
代理机构
代理人
主权项
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