发明名称
摘要
申请公布号 JPS5419774(B1) 申请公布日期 1979.07.18
申请号 JP19710099822 申请日期 1971.12.09
申请人 发明人
分类号 G03C1/053;G03F7/031;(IPC1-7):G03C1/68;G03F7/10;G03F7/12;H01L21/30;H05K3/06 主分类号 G03C1/053
代理机构 代理人
主权项
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