发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5489476(A) 申请公布日期 1979.07.16
申请号 JP19770158322 申请日期 1977.12.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKANO MOTOO
分类号 H01L27/04;H01L21/265;H01L21/822;H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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