| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5488092(A) |
申请公布日期 |
1979.07.12 |
| 申请号 |
JP19770156841 |
申请日期 |
1977.12.26 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
SHIMA SHIYOUHEI;HIGASHINAKAGAHA IWAO |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/265;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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